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    產品名稱: 半導體行業IH80愛德華干泵維修
    簡要描述: 半導體行業IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性能。
    更新時間: 2020-12-09
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    產品介紹

    品牌其他品牌供貨周期一周
    應用領域醫療衛生,化工,石油,能源,電子

    半導體行業IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性能。

    iH 系列真空泵為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠xing。通常情況下在使用螺桿泵時,應定期的對螺桿泵進行檢查,發現故障要及時維修。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分,螺桿泵小修的檢查周期用在6個月左右,大修的檢查周期應在24個月。根據螺桿泵運行狀況及狀態監測結果可適當調整檢修周期。

    半導體行業IH80愛德華干泵維修前準備在檢修螺桿泵前應做好以下準備工作。

    ①掌握運行情況,備齊必要的圖紙資料。

    ②備齊檢修工具、量具、配件及材料。

    ③切斷電源及設備與系統聯系,內部介質冷卻、吹掃、置換干凈,符合安全檢修條件。

    螺桿泵的拆卸與檢查

    拆卸螺桿泵時應按以下步驟進行。

    ①檢查電動機電源;電源應斷開,并將電源開關上鎖。檢查出、人口閥門關閉情況,若沒有關閉,應關緊。

    ②松開電動機與泵軸之間的聯軸器的連接螺栓,卸下聯軸器。

    ③拆卸檢查同步齒輪。

    對于單螺桿泵或三螺桿泵,拆卸泵后端蓋,檢查墊片、止推墊片、軸承、軸向定位塞。

    對于雙螺桿泵,拆卸泵后端蓋,拆卸檢查軸承及密封。

    ④拆卸前端蓋,拆卸檢查主、從動螺稈及密封。

    ⑤必要時更換端蓋與泵體之間墊片。

    半導體行業IH80愛德華干泵維修,超長保固期。

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