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    產品名稱: GV400愛德華干泵維修
    簡要描述: 東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養服務。 維修流程完善,長期備有原廠維修配件,為客戶提供優質的服務!我們將按GV400愛德華干泵維修流程,為客戶保證維修之設備的質量
    更新時間: 2020-12-09
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    產品介紹

    品牌其他品牌供貨周期一周
    應用領域醫療衛生,化工,石油,能源,電子

    GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果,壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養服務

    GV400愛德華干泵維修流程

    (1)擦凈零件,疏通油孔 。

    (2)把旋片及彈簧裝入高級轉子槽內后,把高級轉子裝入泵身內,裝上高級泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等,用手旋轉,應無滯阻和明顯輕重。

    (3)低級轉子裝配同上。

    (4)裝止回閥葉輪部件,應使止回閥平面對準進油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉轉子,油孔應時開時閉,調整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。

    (5)裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。

    (6)把泵部件、鍵、軸套、電機裝在支座上。

    (7)裝油箱。

    (8)插入進氣咀、氣鎮閥、裝上壓板,螺釘緊固。

    注意:

    (1)裝配時,各摩擦面應涂上清潔的真空泵油。

    (2)記住零件的原裝配位置,可減少跑合時間。

    (3)緊固體應無松動,緊固時應均勻施力。

    (4)對磨損零件應檢查,并酌情修理或調換。

    (5)總裝結束后,可以從泵進氣口加入少量泵油,然后用手轉動,轉動時,手的感覺應是阻力均勻,無明顯阻滯現象。

    我們將按GV400愛德華干泵維修流程,為客戶保證維修之設備的質量

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