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    產品名稱: IH600愛德華螺桿泵維修
    簡要描述: IH600愛德華螺桿泵維修,半導體真空泵維修保養。GV系列干泵維修,EH系列羅茨泵維修GVS系列螺桿泵維修
    更新時間: 2020-12-09
    瀏覽次數: 574

    產品介紹

    品牌其他品牌供貨周期一周
    應用領域醫療衛生,化工,石油,能源,電子

     

    湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修,半導體真空泵維修保養。Edwards IH600系列干泵在環境(顆粒,腐蝕物)下有著高可靠性,例如PECVD,LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,無需潤滑,這樣就確保了油不會被反抽到系統中。IH600系統有一個HCDP80干泵;HCMB-600干泵。IH600系統適用于無風冷電機的潔凈環境中。IH600干泵系統還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體系統,適用于制程物嚴重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統。另外,可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設備監控器使用其他控制設備去操作IH干泵系統。 半導體晶圓廠的應用包括: LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學氣相沉積 高密度等離子體化學氣相沉積快速熱處理 大氣化學氣相沉積sacvd 鎢化學氣相沉積

    等離子體增強化學氣相沉積 低壓化學氣相淀積。

    規格參數:

    Edwards  IH600

    項     目 參     數

    Inlet Connection ISO 100

    Outlet Connection NW40

    Peak Speed 518 m3h1

    8635 1min-1

    305 CFM

    Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

    1.5 x 10-3 Torr

    Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

    Rated Motor Power 5.1 kW

    Weight 913 kg/lbs.

    湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修,GV系列干泵維修,EH系列羅茨泵維修GVS系列螺桿泵維修

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